
7 月 1 日,合肥三越半导体再获重大技术突破 —— 外径 500mm+大型焊接波纹管实现稳定量产,继400mm级产品后,再度拓宽国产超大真空管件尺寸边界,同时已全面启动800mm+超大焊接波纹管专项研发布局。
公司自研内径<4mm 微型波纹管,适配刻蚀、薄膜沉积等半导体设备,实现进口替代;针对大科学装置需求,团队攻克波形稳定性、多层焊接应力、高气密性等难题,成功落地500mm 级量产产品。 产品真空漏率可达10⁻¹² Pa·m³/s ,同时可具备正压1.5MPa压力。适配可控聚变、同步辐射、加速器、大型真空腔体等国之重器,填补国内500mm 大口径焊接波纹管量产空白。(来源于三越半导体)

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