近期，合肥开悦半导体自研的存储制程适配型inline联机涂胶显影机，历经18个月研发攻坚、迭代调试与工艺验证，顺利完成整机调试与多轮可靠性测试，设备性能指标符合既定出厂规范及客户交付要求，现已正式向芯片制造客户完成出货交付。
开悦半导体长期深耕光刻设备研发制造与服务领域，布局合肥、永清两处生产制造基地，业务覆盖涂胶显影整机研发制造、黄光区设备再制造、设备维保及整体工艺解决方案等核心板块。公司产品适配存储芯片、逻辑芯片、功率器件、先进封装等多类光刻应用场景，合作客户覆盖国内多家晶圆制造、特色工艺产线企业。开悦半导体还设立上海、厦门子公司，并在新加坡、日本布局境外子公司与研发机构，稳步搭建国产半导体装备海外技术服务网络。
合肥开悦半导体自主研发的存储适配Inline涂胶显影机顺利完成出机，进一步丰富了国产存储光刻工艺配套装备产品矩阵，为存储芯片产业构建本土化工艺配套能力、实现国产化替代提供有力支撑。（来源于开悦半导体）
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