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和光微超表面光学加速走向规模化 实现12英寸晶圆量产

阅读次数:667 编辑:系统管理员 发布时间:2026-09-29 17:16
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近日,第27届中国国际光电博览会(CIOE)在深圳举行,来自全球30多个国家和地区的4000余家企业参展。和光微最新一代超表面光学气体感知产品登场,超表面光场调制透镜同步首发亮相。

作为合肥市智能机器人研究院优质培育企业,和光微产业化进展实现重大突破——超表面氢气传感芯片已在12英寸晶圆上实现量产,在3D感知领域与行业头部客户完成送样验证并进入量产交付阶段。

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作为国内超表面光学领域较早商业化的公司之一,和光微正加快完善在物理 AI 光学感知领域的产品体系。底气来自三大工艺平台:以设计仿真为核心的 Meta-SCORE™ 平台,以深紫外光刻加刻蚀为核心的 Meta-PIANO™ 平台,以及以纳米压印加刻蚀为核心的 Meta-HARP™ 平台。

依托这三大平台,和光微建立起从设计、仿真到晶圆级制造交付的一体化能力。目前,公司超表面氢气传感芯片已在12英寸晶圆上实现量产,中红外超表面探测器件也具备量产工艺能力,成为国内少数同时具备超表面光学元件与器件两类产品商业化能力的公司。 

在3D感知领域,和光微已与行业头部客户完成送样验证并进入量产交付阶段。面向 AI 数据光互联领域的产品,已完成内部预研验证。 

在全光计算方向,和光微已启动与行业合作伙伴的联合预研;量子领域的超表面光镊阵列作为另一应用方向同步探索。

自2022年成立起,和光微扎根合肥经开区,依托研究院科创平台,把半导体产业链的成熟制造能力延伸到光学维度。接连获得省市区三级资本加注,正是其超表面光学技术在物理AI光子产业技术价值的最佳印证。 

从12英寸晶圆量产出发,和光微正把技术优势一步步转化为产业优势——为光赋予智能,让超表面光学走进千行百业。 

据和光微负责人介绍,下一步公司将持续推进12英寸晶圆量产制造工艺优化与创新方案研发,同步加快技术团队扩建与市场拓展,强化从设计、仿真到晶圆级制造交付的一体化能力。(来源于合肥市智能机器人研究院) 

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